上海林源自动化设备有限公司,经过十多年潜心研究,不仅定制精密测量解决方案,同时开发出了专业高精度多光束激光干涉仪产品,成为行业技术领先品牌。上海林源自动化设备有限公司由测量行业内资深人士组合创建成立,有独立的研发团队,公司已成立了十余年,引进国外先进技术和核心零部件,结合自身软件开发,生产出比肩国外同行的多光束激光干涉仪产品,同时相对于其他国际品牌更具有性价比。。
LY6000多光束激光干涉仪,一次发射四组激光,是一款激光测量系统,只需一次设定即可沿线性轴同时测量6个自由度的误差。它具有强大的诊断工具,通过一次采集就可以测量单轴的所有误差,包括线性精度、俯仰角、扭摆角、滚摆角、水平方向直线度、垂直方向直线度。
LY6000多光束激光干涉仪主要特点及优点:
快速——利用传统激光技术,一次安装即可同时测量线性、俯仰、扭摆、滚摆、水平方向和垂直方向直线度等六项误差;
简单——设定简单,能快速熟练使用,自动检测轴的正负方向和图形准直减少人为误差;
可靠——直接测量所有误差,允许用户在测试过程中查看结果;
强大——独特的光学滚摆测量系统能够在任一方向直行滚摆测量。
LY6000激光干涉仪主要由激光发射器、激光接收器、环境补偿器、软件包以及线性组件、平面度组件、垂直度组件、激光校准组件等组成。
<1>多光束激光干涉仪LY6000组件
多光束激光干涉仪LY6000组件由发射器、接收器、激光装置、环境补偿器构成。具体如下图
a、发射器 b、接收器 c、激光装置 d、环境补偿器
发射器— 安装在机器工作台上。之所以能够使用远控轻型光纤发射器,是因为LY6000配有一个分离式激光装置。这样不仅提供了更灵活的安装选项,还将对测量范围的影响减至最小。
接收器— 安装在机器主轴上。通过集成Bluetooth®(蓝牙)(二类)连接,滚摆和直线度数据可无线传输至激光装置。接收器的设计轻便小巧,减轻了机器主轴的负载。
激光装置— 位于机器工作环境外部。使用外部分离式激光源可减少对测量光学镜组和待测机器产生的热影响。
环境补偿器—用于最大限度降低工作环境对测量精度的影响。
技术参数
尺寸(重量)
激光器(L) 320 mm x (H) 122 mm x (W) 193 mm (重量:3.7 kg)
发射器25.5 mm x 124.1 mm x 86 mm (重量:1.9 kg)
接收器161.2 mm x 82 mm x 82 mm (重量:0.6 kg)
完整的LY6000系统装箱重量(不含选件补偿器):23 kg
电源
24 V直流2.5 A ;60W
系统测量能力
线性、直线度、角度(俯仰//扭摆)、滚摆以及平面度、垂直度、圆弧轨迹
<2>LY6000多光束激光干涉仪系统信息:
测量类型精度
分辨率线性±0.5 ppm(使用环境补偿)
1 nm角度(俯仰/扭摆)
±0.004A ±(0.5微弧度 +0.11M微弧度)
0.03微弧度
直线度*
±0.01A ±1 μm ±0.01A ±1.5 μm
0.25 μm滚摆*
0至4 m:±0.01A ±6.3微弧度 4至6 m:±0.01A ±10.0微弧度
0.12微弧度